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Porous AlN films grown on C-face SiC by hydride vapor phase epitaxy
Jiafan Chen(陈家凡), Jun Huang(黄俊), Didi Li(李迪迪), and Ke Xu(徐科)
Porous AlN films grown on C-face SiC by hydride vapor phase epitaxy
Jiafan Chen(陈家凡), Jun Huang(黄俊), Didi Li(李迪迪), and Ke Xu(徐科)
中国物理B . 2022, (
7
): 76802 -076802 . DOI: 10.1088/1674-1056/ac597e