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Influences of different oxidants on characteristics of La
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nanolaminates deposited by atomic layer deposition
樊继斌, 刘红侠, 段理, 张研, 于晓晨
Influences of different oxidants on characteristics of La
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/Al
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nanolaminates deposited by atomic layer deposition
Ji-Bin Fan(樊继斌), Hong-Xia Liu(刘红侠), Li Duan(段理), Yan Zhang(张研), Xiao-Chen Yu(于晓晨)
中国物理B . 2017, (
6
): 67701 -067701 . DOI: 10.1088/1674-1056/26/6/067701