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Mechanical strains in pecvd SiN
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:H films for nanophotonic application
O. Semenova, A. Kozelskaya, Li Zhi-Yong, Yu Yu-De
Mechanical strains in pecvd SiN
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:H films for nanophotonic application
O. Semenova, A. Kozelskaya, Li Zhi-Yong, Yu Yu-De
中国物理B . 2015, (
10
): 106801 -106801 . DOI: 10.1088/1674-1056/24/10/106801