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Electronic dynamic behavior in inductively coupled plasmas with radio-frequency bias
高飞, 张钰如, 赵书霞, 李雪春, 王友年
Electronic dynamic behavior in inductively coupled plasmas with radio-frequency bias
Gao Fei (高飞), Zhang Yu-Ru (张钰如), Zhao Shu-Xia (赵书霞), Li Xue-Chun (李雪春), Wang You-Nian (王友年)
中国物理B . 2014, (
11
): 115202 -115202 . DOI: 10.1088/1674-1056/23/11/115202