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Structural and electrical characterization of annealed Si
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/SiC thin film prepared by magnetron sputtering
黄仕华, 刘剑
Structural and electrical characterization of annealed Si
1-
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C
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/SiC thin film prepared by magnetron sputtering
Huang Shi-Hua (黄仕华), Liu Jian (刘剑)
中国物理B . 2014, (
5
): 58105 -058105 . DOI: 10.1088/1674-1056/23/5/058105