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Iron trichloride as oxidizer in acid slurry for chemical mechanical polishing of Ge
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Sb
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Te
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闫未霞, 王良咏, 张泽芳, 刘卫丽, 宋志棠
Iron trichloride as oxidizer in acid slurry for chemical mechanical polishing of Ge
2
Sb
2
Te
5
Yan Wei-Xia (闫未霞), Wang Liang-Yong (王良咏), Zhang Ze-Fang (张泽芳), Liu Wei-Li (刘卫丽), Song Zhi-Tang (宋志棠)
中国物理B . 2014, (
4
): 48301 -048301 . DOI: 10.1088/1674-1056/23/4/048301