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Ti--Al based ohmic contacts to n-type 6H-SiC with P
+
ion implantation
郭辉, 张义门, 张玉明
Ti--Al based ohmic contacts to n-type 6H-SiC with P
+
ion implantation
Guo Hui(郭辉), Zhang Yi-Men(张义门), and Zhang Yu-Ming(张玉明)
中国物理B . 2006, (
9
): 2142 -2145 . DOI: 10.1088/1009-1963/15/9/039