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MONTE CARLO SIMULATION OF THE ION BEAM ENHANCED DEPOSITION OF SILICON NITRIDE FILMS
邵其鋆, 潘正瑛
MONTE CARLO SIMULATION OF THE ION BEAM ENHANCED DEPOSITION OF SILICON NITRIDE FILMS
SHAO QI-YUN (邵其鋆), PAN ZHENG-YING (潘正瑛)
中国物理B . 1994, (
9
): 690 -696 . DOI: 10.1088/1004-423X/3/9/006