<em> In-situ</em> wafer bowing measurements of GaN grown on Si (111) substrate by reflectivity mapping in metal organic chemical vapor deposition system

In-situ wafer bowing measurements of GaN grown on Si (111) substrate by reflectivity mapping in metal organic chemical vapor deposition system

Yang Yi-Bin^a),^b), Liu Ming-Gang^a),^b), Chen Wei-Jie^a),^b), Han Xiao-Biao^a),^b), Chen Jie^a),^b), Lin Xiu-Qi^a),^b), Lin Jia-Li^a),^b), Luo Hui^a),^b), Liao Qiang^a),^b), Zang Wen-Jie^a),^b), Chen Yin-Song^a),^b), Qiu Yun-Ling^a),^b), Wu Zhi-Sheng^a),^b), Liu Yang†^a),^b), Zhang Bai-Jun‡^a),^b)

(a) The schematic diagram of the track of laser spot, which is a curve, with the rotation of the susceptor. (b)–(d) Directions of incident light and reflected light related with the wafer bow.