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Optimization of wide frequency range 6H-SiC MEMS chips for a fiber optic Fabry-Perot accelerometer
Mariano Mahissi(马依思·马里亚诺), Xinli Ma(马新莉), Weiming Cai(蔡卫明), Xianmin Zhang(章献民), and Michel Dossou(多苏·米歇尔)
Optimization of wide frequency range 6H-SiC MEMS chips for a fiber optic Fabry-Perot accelerometer
Mariano Mahissi(马依思·马里亚诺), Xinli Ma(马新莉), Weiming Cai(蔡卫明), Xianmin Zhang(章献民), and Michel Dossou(多苏·米歇尔)
中国物理B . 2025, (
7
): 74203 -074203 . DOI: 10.1088/1674-1056/adc18e