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Removal of GaN film over AlGaN with inductively coupled BCl
3
/Ar atomic layer etch
Jia-Le Tang(唐家乐) and Chao Liu(刘超)
Removal of GaN film over AlGaN with inductively coupled BCl
3
/Ar atomic layer etch
Jia-Le Tang(唐家乐) and Chao Liu(刘超)
中国物理B . 2022, (
1
): 18101 -018101 . DOI: 10.1088/1674-1056/ac032d