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Quasi-delta negative ions density of Ar/O
2
inductively coupled plasma at very low electronegativity
Shu-Xia Zhao(赵书霞)
Quasi-delta negative ions density of Ar/O
2
inductively coupled plasma at very low electronegativity
Shu-Xia Zhao(赵书霞)
中国物理B . 2021, (
5
): 55201 -055201 . DOI: 10.1088/1674-1056/abd16a