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Direct simulation Monte Carlo study of metal evaporation with collimator in e-beam physical vapor deposition
卢肖勇, 柴俊杰
Direct simulation Monte Carlo study of metal evaporation with collimator in e-beam physical vapor deposition
Xiaoyong Lu(卢肖勇), Junjie Chai(柴俊杰)
中国物理B . 2019, (
7
): 74702 -074702 . DOI: 10.1088/1674-1056/28/7/074702