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Influence of dielectric materials on uniformity of large-area capacitively coupled plasmas for N
2
/Ar discharges
梁英爽, 张钰如, 王友年
Influence of dielectric materials on uniformity of large-area capacitively coupled plasmas for N
2
/Ar discharges
Ying-Shuang Liang(梁英爽), Yu-Ru Zhang(张钰如), You-Nian Wang(王友年)
中国物理B . 2016, (
10
): 105206 -105206 . DOI: 10.1088/1674-1056/25/10/105206