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Simulation of nanoparticle coagulation in radio-frequency C
2
H
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/Ar microdischarges
刘相梅, 李奇楠, 李瑞
Simulation of nanoparticle coagulation in radio-frequency C
2
H
2
/Ar microdischarges
Xiang-Mei Liu(刘相梅), Qi-Nan Li(李奇楠), Rui Li(李瑞)
中国物理B . 2016, (
6
): 65203 -065203 . DOI: 10.1088/1674-1056/25/6/065203