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Simulation of nanoparticle coagulation in radio-frequency capacitively coupled C
2
H
2
discharges
刘相梅, 李奇楠, 徐翔
Simulation of nanoparticle coagulation in radio-frequency capacitively coupled C
2
H
2
discharges
Liu Xiang-Mei (刘相梅), Li Qi-Nan (李奇楠), Xu Xiang (徐翔)
Chin. Phys. B . 2014, (
8
): 85202 -085202 . DOI: 10.1088/1674-1056/23/8/085202