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Characteristics of dual-frequency capacitively coupled SF
6
/O
2
plasma and plasma texturing of multi-crystalline silicon
徐东升, 邹帅, 辛煜, 苏晓东, 王栩生
Characteristics of dual-frequency capacitively coupled SF
6
/O
2
plasma and plasma texturing of multi-crystalline silicon
Xu Dong-Sheng (徐东升), Zou Shuai (邹帅), Xin Yu (辛煜), Su Xiao-Dong (苏晓东), Wang Xu-Sheng (王栩生)
中国物理B . 2014, (
6
): 65201 -065201 . DOI: 10.1088/1674-1056/23/6/065201