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Atomic diffusion in annealed Cu/SiO
2
/Si (100) system prepared by magnetron sputtering
曹博, 贾艳辉, 李公平, 陈熙萌
Atomic diffusion in annealed Cu/SiO
2
/Si (100) system prepared by magnetron sputtering
Cao Bo(曹博), Jia Yan-Hui(贾艳辉), Li Gong-Ping(李公平), and Chen Xi-Meng(陈熙萌)
中国物理B . 2010, (
2
): 26601 -026601 . DOI: 10.1088/1674-1056/19/2/026601