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Deposition of SiO
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barrier films by O
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/TMDSO RF-PECVD
周美丽, 付亚波, 陈强, 葛袁静
Deposition of SiO
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barrier films by O
2
/TMDSO RF-PECVD
Zhou Mei-Li(周美丽), Fu Ya-Bo(付亚波), Chen Qiang(陈强), and Ge Yuan-Jing(葛袁静）
中国物理B . 2007, (
4
): 1101 -1104 . DOI: 10.1088/1009-1963/16/4/040