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Spatial distribution of SiCl
n
(
n
=0--2) in SiCl
4
plasma measured by mass spectroscopy
王照奎, 林揆训, 娄艳辉, 林璇英, 祝祖送
Spatial distribution of SiCl
n
(
n
=0--2) in SiCl
4
plasma measured by mass spectroscopy
Wang Zhao-Kui(王照奎), Lin Kui-Xun(林揆训), Lou Yan-Hui(娄艳辉), Lin Xuan-Ying(林璇英), and Zhu Zu-Song(祝祖送)
中国物理B . 2006, (
10
): 2374 -2377 . DOI: 10.1088/1009-1963/15/10/031