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STRESS ANALYSIS IN CUBIC BORON NITRIDE FILMS BY X-RAY DIFFRACTION USING sin
2
ψ METHOD
张兴旺, 岳金顺, 陈光华, 严辉, 刘文君
STRESS ANALYSIS IN CUBIC BORON NITRIDE FILMS BY X-RAY DIFFRACTION USING sin
2
$\psi$ METHOD
ZHANG XING-WANG (张兴旺), YUE JIN-SHUN (岳金顺), CHEN GUANG-HUA (陈光华), YAN HUI (严辉), LIU WEN-JUN (刘文君)
中国物理B . 1998, (
1
): 61 -67 . DOI: 10.1088/1004-423X/7/1/007