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A STUDY ON SECONDARY DEFECTS IN SELF-ION IMPLANTED Si
田人和
A STUDY ON SECONDARY DEFECTS IN SELF-ION IMPLANTED Si
TIAN REN-HE (田人和)
中国物理B . 1993, (
11
): 833 -840 . DOI: 10.1088/1004-423X/2/11/005