Influence of dry-etching damage on the electrical properties of an AlGaN/GaN Schottky barrier diode with recessed anode

Zhong Jian^a), Yao Yao^a), Zheng Yue^a), Yang Fan^a), Ni Yi-Qiang^a), He Zhi-Yuan^a), Shen Zhen^a), Zhou Gui-Lin^a), Zhou De-Qiu^a), Wu Zhi-Sheng^a), Zhang Bai-Jun^b), Liu Yang†^a)

SEM view of recessed SBD dry-etching sidewall morphology with RF bias powers of 10 W (a), 20 W (b), 40 W (c), and 80 W (d).